一、项目简介：

       透明导电薄膜是指那种对可见光的平均透过率高（T  80%）、电阻率低（ρ10-3 Ω ｃｍ）的薄膜，在太阳能电池、平板显示器、薄膜晶体管、气敏元件、抗静电涂层等领域具 有广阔的应用前景。传统的透明导电薄膜是指氧化铟锡(俗称 ITO)，ITO 中其透过率和电阻 率分别由 SnO2 与 In2O3 之比来控制，一般 SnO2:In2O3=1:9。由于铟是一种稀缺金属，近年 来人们一直在探索其他的替代材料。Zn 是地壳中蕴藏量较丰富的一种元素，本项目采用磁 控溅射法和溶胶-凝胶法制备的掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜，对可见光平均透过率大于 90％，电阻率低于 510-4Ωｃｍ，具有广阔的应用前景。已发表科研论文十多篇。

二、创新点以及主要技术指标：

1. 利用磁控溅射技术结合原位加热方法，在玻璃衬底上生长高质量 AZO 薄膜；

2. 利用磁 控溅射技术通过调节生长气压和射频功率，在室温下柔性衬底上制备高质量 AZO 薄膜；

3. 采用对设备要求低、原材料价格低廉的溶胶-凝胶法制备技术；

4. 特殊气氛下热处理技术；

5. 场诱导结晶技术。

三、知识产权及获奖：

       获国家 863 项目立项支持 四、应用领域及市场前景 太阳能电池电极和触摸显示屏等的制备，替代进口产品，降低相关器件的制备成本。